高纯气体运输管道系统的质量将直接影响高纯气体的纯度、清洁度和干燥湿度。因此，严格控制高纯气体运输系统的设计、选材、制造、清洁处理和安装和使用过程中的各个环节具有重要意义。
1、材料表面处理
未经处理的材料表面会附着氧化层、油渍、灰尘、金属渣等杂质。如果在高纯气体管道系统中使用未经处理或处理的材料，气流的冲洗、温度和压力等因素的变化会影响材料表面的出气，必然会导致气体质量下降和清洁管道污染，甚至造成零件损坏和报废。众所周知，金属材料的表面和气体分子之间存在吸附和分析现象。当气体压力、温度等条件一定时，吸附和分析只与材料的实际表面尺寸和处理情况(抛光、清洗等)有关。).因此，纯气体的处理和清洗是有害的。
2、材料选择
不锈钢板是高纯气体输送管道的理想选择，不锈钢对杂质和水分的活性弱于其他材料，具有良好的耐腐蚀性、机械工艺性和综合经济性。对抽真空系统而言，不锈钢的出气率也较低，仅为铜的十分之一，是橡胶树脂的千分之一。需要特别注意的是，由于所有气体对有机聚合物的渗透率较高，非金属管道、密封垫圈、非金属隔膜调压阀、膜片阀等绝对不允许用于高纯气体管道。不然，系统内外气体的相互渗透会降低气体的质量。材料的选择在实际应用中必须考虑使用介质的性质和使用条件(温度、压力、环境)。另外，不锈钢板也不适用于硫酸浓度高的情况。无缝管必须用于管道。管内外表面质量、直径公差和圆度应符合设计要求。即使内外表面缺陷不明显，表面擦伤和任何一种都是应力源，都会导致腐蚀不均匀，从而降低管道在交变载荷和活性介质作用环境下的耐腐蚀性和疲劳破坏性。旋转和运输时，不能将管道拖到地面和硬物上，以免划伤管道表面。除考虑系统的压力、流量外，还应注意选择与卡套相连的管道厚度，以便选择管道外径和壁厚。管壁过簿，卡环会压碎管道；管壁过厚，卡环不能使管道适当变形，同样无法起到密封作用。
3、一定要注意不要让管道受力。
无论采用什么连接方式，这种结构都很难保证管道两端的突面同时完全接触，当温度变化时，密封表面会移动变化。
4、弯头必须冷加工
而且要使用台适机械，不能重复弯头。弯管上有挤压、弯曲、起皱现象的管道不能使用。
5、锯开或切割管道
为了保证管道切口垂直于管壁，最好使用专用工具清除管道切口内外的毛刺。特别注意不要让残渣进入管道，用干净的空气或氨气吹走。旋转实践表明，此时管道中的大多数金属残渣都是残留的，对于小13径管道来说(
3ram 下面)不能用锯锯断，可以用三角形或尖锉绕管的外径统一.圈管沟，然后断开，防止毛边堵塞内孔。
6、安装闸阀时，应注意阀体上的流向标志的安装。当工作系统有压力时，应始终将压力端接收到阀门下方的内腔，而不是接收阀门上方的填料或薄膜。当闸阀关闭时，这种连接方式可以保证工作系统至少有机会发生外瓣。闸阀应安装在显眼且易于操作的位置，操作人员的手不应通过非常冷或根热的物体操作闸阀。闸阀不应垂直向下安装，以防止系统中的杂质堆积在阀腔中，从而损坏闸阀。
