高纯气体管道施工方法
一、前言
随着我国半导体和制芯行业的发展，高纯气体管道的应用越来越广泛，高纯气体管道在半导体、电子、医药、食品等行业得到了一定程度的应用，因此高纯气体管道的建设对我们来说越来越重要。
适用范围
本工艺主要适用于电子、半导体厂房气体管道的安装、检测、薄壁不锈钢气体管道的焊接，也适用于医药、食品等厂房的清洁管道施工。
第三，工艺原理
根据工程特点，工程施工前后分为三个步骤，每个步骤都要经过严格的质量和清洁度检查。第一步是预制管道。为了保证清洁度，管道预制通常在1000级预制室进行；第二步是现场安装；第三步是系统检测，功能检测主要是检测管道中的灰尘颗粒、漏点、氧气含量和氮氧化合物含量。
第四，主要施工要点
(一)施工前的准备
1、在施工过程中，组织劳动力，准备机器、设备。
2、建立预制室，洁净度1000级。
3、施工图纸分析，根据工程特点和具体情况编制施工方案，做好技术交底工作。
管道预制(二)
1、由于高纯气体管道要求清洁度高，为了减少安装现场的焊接工作量，保证清洁度，首先在1000级预制室预制管道施工，施工人员应穿干净的衣服，使用的工具应保证清洁。此外，施工人员应该有很强的清洁概念，尽量减少施工过程中对管道的污染。 2、管道切割管道采用专用切割工具，切割端面绝对垂直于管轴线。切割管道时，应采取措施防止外部灰尘和气体对管道内部的污染。好的材料应该分组，以便组装和焊接。
3、管道焊接，管道焊接前，应编制焊接程序，输入自动焊接机。样品只有在样品合格后才能焊接。焊接一天后，样品将被焊接。如果样品合格，焊接参数会一直保存在焊机中，焊接时自动焊机非常稳定，所以焊接质量也合格。焊接质量由微机控制，减少了人为因素对焊接质量的影响，不仅提高了工作效率，还获得了高质量的焊缝。
4、焊接工序
现场安装(三)
1、现场安装高纯气体管道应干净整洁，安装人员必须佩戴洁净手套。
2、支架设置距离应符合图纸设计要求，每个固定点应覆盖EP管专用橡胶套。
3、预制好的管道运到现场，不能磕碰践踏，不能直接放在地上，担好支架后，立即上管卡。
4、现场管道焊接与预制阶段管道焊接程序相同。
5、焊接完成后，经有关人员对焊口样品和管道上的焊口进行检验，贴上焊口标签，填写焊接记录。
(四)功能测试
1、在管道压力试验、吹扫结束后，系统检测是高纯气体施工的最后一环。
2、使用气体的功能测试首先是合格气体，气体的清洁度、含氧量、漏点和氮氧化合物应符合要求。
3、该指标的检查是通过在管道中充入合格气体，在出口处用仪器测量，管道中吹出的气体合格，表明该管道指标合格。
五、材料
根据流通介质的工艺标准，高纯气体管道一般采用薄壁不锈钢管，一般采用316L(00Cr17Ni14Mo2)。合金成分主要有铬、镍、钼三种，铬的存在提高了不锈钢在还原介质中的耐蚀性，形成了富铬氧化膜；而钼的出现则提高了不锈钢在非还原介质中的耐蚀性；镍是马氏体的形成元素，它们的存在不仅提高了钢的耐蚀性，而且提高了钢的工艺性能。
