管道输送高纯气体，
供气系统设计合理，关键是能否将高纯气体送至气点，保持质量合格，
管件
并且配件选择正确，施工安装正确，实验检测合格。高纯气体管道输送管道，气体纯度、
许可的杂质含量、颗粒含量等要求不同，选择相应质量的管道。例如，半导体行业由于其复杂的生产工艺而增加
工艺精细，不仅要求生产环境清洁，而且对生产过程中所需的各种高纯气体都有特定的、严格的要求，
从μM技术进入亚微米，深亚微米
(低于O．35g．m)技术上，对气体中的杂质含量、水分含量要求极其严格，10 (ppm级)已不能满足要求，需要达到10 (ppb级)，甚至10~2(ppt级)，灰尘粒度要求控制到0．05-0。Olla,m。所以输送管道本身的管道材料特性要适应高纯度、超高纯度气体的需要。
2．1
管道材料特性
对于高纯度气体管道的运输，影响气体质量的管道材料的主要特点是气体透水性、出气速度、吸附力、表面
表面粗糙度和耐磨性，耐腐蚀性。
21．1
气体透水性
当气体从高压(或分压)的一侧流入低压(或分压)的一侧时，就会变成气体渗透。因为空气
气中氧气和氮气分为压力和压力****、气体分子相对较小，管道材料对气体的透水性具体表现为氧气和氮气的渗透，
一般来说，氧气的渗透试验较多。不同材料对氧气的透水性材料空气中氧气的渗透(ppm)不锈钢管 O铜管
聚丙烯管1l聚四氟乙烯管12普通钢管2032 从表中可以看出，不锈钢管或钢管必须从气体渗透的角度用于运输ppm级和更高纯度的气体。如果我们不恰当地选择不合格的管道材料，无论我们采用什么净化方法，都将无济于事。
2．1．2
出气速度
在材料冶炼过程中形成的管道材料的晶间或晶格中存在氮、氮氧化合物等杂质。在高纯气体的输送过程中，这些杂质会慢慢释放，污染高纯气体，尤其是ppb以上要求的高纯气体。一般来说，低碳不锈钢管的出气速度非常低。
2．1．3
吸附力
由于水分等杂质是极性分子，具有很强的吸附性。表面粗糙的橡胶、塑料或材料容易吸收水分等杂质，铜
材料对水有很强的吸附作用，使用这些材料运输高纯气体容易受到污染，除了运输ppm级以下的氧气外，还会使用铜管，
铜管和塑料管不适用于高纯气体，橡胶和塑料材料(包括聚四氟乙烯)也不适用于气体接触的垫片和填料。
2．1．4
表面粗糙度和耐磨性
为保证输送的气体纯度，要求管道材料内层具有极高的光洁度，以防止颗粒和水分受到污染
停留在管壁上，吹扫时更容易吹干净。管道光滑耐磨，可在气流高速冲刷下产生金属。
颗粒较少，不锈钢产生的颗粒比铜管少，所以不锈钢管的耐磨性比钢管好。
2．1．5
耐腐蚀性
在微电子生产中，经常使用一些腐蚀性很强的气体，此时一定要使用耐腐蚀的管道，否则管道会被腐蚀，很轻
然后表面生锈，严重的管道大规模脱落、穿孔，不但会污染气体，还会发生安全事故。
2．1．6
内表面处理
通常有三种方法可以进一步改善管道材料的特性，对管道中表面进行处理：
酸洗钝化(AP)、光亮退火(BA)和电解抛光(EP)处理。实验资料和实践证明，经过表面处理后。管道材料粗糙度降低。出气速度降低。表面吸附力减弱。
2．2.管道材料及连接纯度99．99％对于内部气体管道，选择10#或20#无缝管道(镀锌或纯化内表面)
、铜管。镀锌管采用法兰连接。总杂质含量≤304不锈钢光亮退火管(304BA)用于10-100ppm气体管道。、304不锈钢管纯化处理(304AP)、铜管。管道采用焊接连接，可采用对焊、承插焊或套管焊。总杂质含量≤选用316L不锈钢光亮退火管(316LBA)1-1oppm气体管道、不锈钢抛光管304不锈钢电抛光管
(304EP)。管道连接采用焊接、内壁无疤痕对焊、高纯氩保护焊。总杂质含量≤316L不锈钢电抛光管(3L6LEP)必须用于LPPM的高纯气体管道。管道连接采用焊接、内壁无疤痕对焊、高纯氩保护焊，在专用洁净室内进行。
2．3阀门及连接
球阀、隔膜阀和波纹管阀广泛应用于气体管道中，根据气体纯度、有毒性和可燃爆炸性要求选择匹配的闸阀。纯度为99．9999％对于内部气体管道，选用304不锈钢球阀，可采用法兰连接，法兰垫片为软金属垫片，聚四氟乙烯垫片．总杂质含量≤10ppm气体管道选用隔膜阀和波纹管阀。波纹管阀必须用于可燃和爆炸性气体。闸阀用卡套连接，整个软金属片。因为隔膜阀不仅具有波纹管阀的相同密封性能，而且具有阀内死空间小、
易吹干净，污染小等显著特点，总杂质含量高≤LPPM纯度要求极其严格的管道和危险
对于高性能的气体管道，建议使用隔膜阀。闸阀采用VCR卡套连接，软金属垫片。内壁无疤痕对焊，高纯度氩气保护焊。
